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碳化钨料钵耦合等离子体质谱分析法(ICP-MS)：
质谱法是一种在电磁场的作用下对带电荷离子进行分离和分析的方法。它是基于元素(离子)的质荷比(质量与电荷的比值，m/e)和该元素离子的相对强度来进行材料定性、定量分析的方法。无机试样必须经过气化、电离形成离子才能用质谱法进行分析。ICP因其优异的性能成为无机物分析理想的离子源。样品溶液经过雾化由载气送人ICP焰炬中，去溶，电离后分别通过采样锥、截取锥进人三级真空系统，再经离子透镜聚焦进入质量分析器按离子的质荷比进行分离，进人离子检出系统由二次电子倍增器的计数，计算元素的含量。

ICP-MS 由 ICP 进样系统、离子提取系统(接口)、离子聚焦系统(离子透镜)、离子分离与检出系统五个部分组成。

ICP-MS 在难熔金属和硬质合金分析中的应用，正在愈来愈受到重视和关注。由于102光源的高温能使钨锗和硬质合金原料中杂质元素被充分激发，且采用质谱法分析，故其希MS 辅以其他分新方法，可以分析纯度为5N的钨粉。

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